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高純金屬有機(jī)化合物
2017-4-27
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:  3748        作者:未知
  • 高純金屬有機(jī)化合物
       高純金屬有機(jī)化合物即MO源是先進(jìn)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(簡(jiǎn)稱MOCVD)、金屬有機(jī)分子束外延(簡(jiǎn)稱MOMBE)等技術(shù)生長(zhǎng)化合物半導(dǎo)體材料的支撐材料。化合物半導(dǎo)體材料是21世紀(jì)信息技術(shù)-光電子技術(shù)的基礎(chǔ)。MO源的研制是集極端條件下的制備、超純純化、超純分析、超純灌裝等于一體的現(xiàn)代高新技術(shù)。

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